如何鉴别甲烷和甲硅烷
硅烷:为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
鉴别甲烷和甲硅烷方法:甲烷与氧气反应生成二氧化碳和水,则甲硅烷与氧气反应生成二氧化硅和水。
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